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            質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器的流量單位是什么

            質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器的流量單位是什么?(slm/sccm)?

            氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。
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